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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]图案形成装置、图案形成方法、图案形成系统-CN200380108032.3无效
发明人：后藤博史;藤井充;吉冈治男;岸英树 -专利权人：天成科威有限公司;伯东株式会社
申请日： 2003-12-09 - 公布日： 2006-02-08 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：在图案形成装置(10)中，把用于在基板(200)上形成图案的模具(100)加热到基板(200)的表层部的玻化温度Tg以上的温度T1，在该状态下，把模具(100)按压到温度在玻化温度Tg以下的基板(200)上，并转印模具(100)的图案。并且，优选设置从料箱逐个取出基板(200)并依次供给该图案形成装置(10)的供给装置，构成图案形成系统。
图案形成装置方法系统

[发明专利]图案形成材料、图案形成方法及图案形成装置-CN201680047579.4有效
发明人：渡部功治 -专利权人：长濑化成株式会社
申请日： 2016-08-09 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： C08F2/44 文献下载
摘要：本发明提供一种三维光造型用图案形成材料，其可提高固化速度，并且可抑制三维造型物的收缩。三维光造型用图案形成材料含有苯二甲酸二烯丙酯预聚物、光固化性单体及光聚合引发剂，并且在室温下为液状。图案形成材料适合于以面曝光方式进行的图案形成。在苯二甲酸二烯丙酯预聚物及光固化性单体的总量中苯二甲酸二烯丙酯预聚物所占的比例为例如5～40质量％。
图案形成材料方法装置

[发明专利]图案形成材料、图案形成设备和图案形成方法-CN200580014721.7有效
发明人：佐藤守正;田代朋子;高岛正伸;芹泽慎一郎 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-05-09 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的目的是提供能有效地抑制光敏层的感光度下降和能形成高度精细精确图案的图案形成材料、配备该图案形成材料的图案形成设备和使用所述图案形成材料的图案形成方法。为了达到该目的，提供一种图案形成材料，包含载体和载体上的光敏层，其中光敏层包含阻聚剂、粘合剂、可聚合化合物和光聚合引发剂，光敏层利用激光束曝光，利用显影剂显影，形成图案，显影后产生厚度与曝光前的光敏层厚度基本相同的光敏层所需的最小激光束能量为
图案形成材料设备方法

[发明专利]图案形成装置、图案形成方法-CN200780007581.X无效
发明人：石井浩一;细矢雅弘 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-02-28 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： G09F9/00 文献下载
摘要：本发明揭示的图案形成装置具有：保持利用显影剂形成的图案的凹版(1)；使凹版(1)带电的带电装置(3)；使红色的图案进行显影的显影装置(2r)；使绿色的图案进行显影的显影装置(2g)；使蓝色的图案进行显影的显影装置
图案形成装置方法

[发明专利]面漆组合物和图案形成方法-CN201711011964.6在审
发明人： I·考尔;C·刘;D·康;M·李;D·王;H·周 -专利权人：罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C09D133/10 文献下载
摘要：一种面漆组合物，包含：基质聚合物；表面活性聚合物，包含由以下通式(I)的单体形成的聚合单元：组合图案形成方法

[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法-CN200710129075.X无效
发明人：南一守;池田贵美;高岛正伸 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2007-07-11 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明的目的在于，通过组合规定的聚合性化合物进而在一定范围内调节感光层的感度，提供感度和析像度高、且遮盖膜强度强、密合性出色、防止未曝光膜破裂的效果出色的图案形成材料、以及图案形成装置、以及图案形成方法本发明的图案形成材料，具有支撑体并且在该支撑体上至少具有感光层而成，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物、和光聚合引发剂，所述聚合性化合物含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a－1)、和分子具有4个以上的反应性基团且分子量为本发明使用了该图案形成材料的图案形成方法也具有所述特征。
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200710108160.8无效
发明人：佐藤守正 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2007-05-30 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本发明提供一种通过使用I/O值及玻璃化温度在一定数值范围的粘合剂和I/O值在一定数值范围的粘合剂，即使感光层的厚度在25μm以上，析像度、遮盖性、粘附性及剥离也出色，可以抑制边缘熔合的发生的图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法所以，该图案形成材料等的特征在于，在支撑体上至少具有厚度为25μm以上的感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该粘合剂含有I/O值为0.300～0.650而且玻璃化温度(Tg)在80℃
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200580047044.9有效
发明人：高桥秀知;若田裕一 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-11-24 - 公布日： 2008-01-09 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明的目的在于，通过使感光层中所含的粘合剂的I/O值及玻璃化温度都在一定的数值范围内，来提供在析像度及遮盖性方面优良，而且在显影性方面也优良，并且在抗蚀剂剥离性方面优良的图案形成材料；以及具备了该图案形成材料的图案形成装置及使用了该图案形成材料的图案形成方法为此，提供一种图案形成材料，其特征是，在支撑体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该粘合剂的I/O值为0.300～0.650，并且酸价为130～250(mgKOH/g)。
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200680033839.9有效
发明人：南一守;佐藤守正 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2006-08-25 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种表面故障少、可以防止显色剂引起的光灰雾、未曝光膜的破裂少、析像度高、遮盖膜强度高而且图案形成后的剥离性良好、可以形成更高精细的图案的图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用所述图案形成材料的图案形成方法为此，提供一种图案形成材料，其中，感光层内含粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、杂缩环系化合物、阻聚剂、显色剂以及有机溶剂，粘合剂的酸值为50～400mgKOH/g，而且质均分子量为10,000～100,000
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法-CN200580029857.5无效
发明人：高岛正伸;芹泽慎一郎 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-09-05 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供在层合工序中抑制在基体上产生褶皱、产生静电且可以形成高精细图案的图案形成材料，以及具备该图案形成材料的图案形成装置，和使用了前述图案形成材料的图案形成方法。因此，提供图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法，所述图案形成材料的特征在于：在支撑体上按如下顺序至少具有感光层和保护膜，该保护膜中存在的面积为2000μm
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法-CN200580040184.3无效
发明人：高岛正伸;松本浩隆 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-09-28 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供能够有效地抑制感光层的感度降低并且可以形成更高精细图案的图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用了上述图案形成材料的图案形成方法。因此，提供图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法，所述图案形成材料的特征在于：在支撑体上至少具有感光层，该支撑体的浊度值为5.0％以下，该感光层含有选自具有酸性核的色素
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200580043931.9无效
发明人：高岛正伸;池田贵美 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-12-16 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种可以以形成阻焊剂(solder resist)之类的永久图案为目的，通过使用高透明的物质作为支撑体，形成得到的抗蚀剂(resist)面形状良好且更高精细的图案的图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法所以，该图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法的特征在于，在支撑体上至少具有感光层，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200680048863.X无效
发明人：佐藤守正 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2006-11-20 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种图案形成材料，其是一种高感度而且显影性出色的、可以得到高析像度和高精细的图案的图案形成材料，本发明的目的还在于提供具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法所以，本发明提供的图案形成材料的特征在于，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该感光层的感度在20mJ/cm²以下，在曝光之后显影该感光层时的最短显影时间为另外，本发明还提供使用所述图案形成材料的图案形成装置及图案形成方法。
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法-CN200580049062.0无效
发明人：南一守;高岛正伸;若田裕一 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2005-12-26 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成材料，其中，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物包括在分子中具有
图案形成材料以及装置方法

[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201410250180.9在审
发明人：中川良幸 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在基板上以良好的形状形成线图案的图案形成装置以及图案形成方法。该图案形状装置具有气流吹送单元(1C)和图案整形单元中的至少一个，其中，所述气流吹送单元(1C)与开始喷出所述涂敷液以及停止喷出所述涂敷液相对应地朝向所述基板(W)的在第一方向(X)上比向所述基板(W)供给所述涂敷液的供给位置(P1)更靠上游侧的表面喷射气体，并在所述涂敷液喷嘴(2)的喷出口(21)和所述基板(W)的表面的中间，向所述涂敷液的液流吹送气流(AF)；所述图案整形单元向形成在所述基板(W)的表面上的图案(LP)呈脉冲状喷射气体来进行整形。
图案形成装置以及方法

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